ナガセテクノエンジニアリング株式会社様の 有機デバイス対応小型軽量低ノイズプローバー向けチャンバーを製作しました。
設置環境を選ばず低ノイズ測定が可能な装置です。測定の妨げにならないように、高温中でもガスが発生しない無酸素銅を使用し、 また物性評価する半導体材料を乗せる部分には金メッキ処理を施して熱輻射を低減させる構造となっています。 粘りのある無酸素銅の切削加工のため、加工条件等の工夫をしました。